試驗(yàn)原理
將組合閥門與增壓管路連接,置于真空艙體中。測試時(shí),將組合閥門用純氦氣加壓至試驗(yàn)壓力,當(dāng).組合閥門存在泄漏時(shí),氦氣進(jìn)人真空艙并被吸人檢漏儀,檢漏儀顯示出漏率。
試驗(yàn)步驟
1系統(tǒng)連 接
按圖C.1連接氣密性試驗(yàn)系統(tǒng),根據(jù)組合閥門容積選擇容積相適應(yīng)的真空艙,標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)安裝在靠.近組合閥門位置。保持標(biāo)準(zhǔn)漏孔前端閥門和檢漏儀前端閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。
2
系統(tǒng)校準(zhǔn)
開始?xì)饷苄栽囼?yàn)前應(yīng)對系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn),方法如下。
a)打開檢漏儀前端閥門,啟動(dòng)檢漏儀,打開標(biāo)準(zhǔn)漏孔直至氦質(zhì)譜檢漏儀信號穩(wěn)定。
b)將標(biāo)準(zhǔn)漏孔開啟至輸出信號穩(wěn)定的時(shí)間記錄為檢測時(shí)間t小,將穩(wěn)定的儀器讀數(shù)記為M2。
c)將標(biāo)準(zhǔn)漏孔關(guān)閉,待氨質(zhì)諧檢漏儀讀數(shù)穩(wěn)定時(shí)記錄背景讀數(shù)M。
d) 初始的系統(tǒng)靈敏度S.應(yīng)按式(C.1)計(jì)算:
3氦泄漏檢測
3.1保持標(biāo)準(zhǔn)漏孔前端閥門關(guān)閉,啟動(dòng)檢漏儀，待氨質(zhì)譜檢漏儀讀數(shù)穩(wěn)定時(shí)記錄背景讀數(shù)Ms。
3.2用氦氣將組合閥門增壓至試驗(yàn)壓力,完成增壓后需靜置。
3.3完成靜置后開始檢測,達(dá)到檢測時(shí)間ts后.記錄儀器輸出讀數(shù)M。若輸出信號不穩(wěn)定,延長檢測時(shí)間至輸出信號穩(wěn)定。
檢測結(jié)果
對檢測系統(tǒng)進(jìn)行最終校準(zhǔn)合格后,由下述規(guī)定確定組合閥門氦泄漏率。
a)當(dāng)輸出信號不改變.即M,=Ms,應(yīng)記錄為“低于系統(tǒng)的可探測范圍”和檢測合格。.
b)當(dāng)輸出信號Ms超過系統(tǒng)可探測范圍,應(yīng)記錄為“大于系統(tǒng)可探測范圍”和檢測不合格。
c)當(dāng)輸出信號M。發(fā)生改變(但輸出信號在可檢范圍),應(yīng)按公式確定Q。
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